비씨엔씨-램리서치, 특허성 놓고 '팽팽'

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지디넷코리아 · 이기종 기자 · 2026-08-20 IT·테크

[지디넷코리아]세계 식각장비 1위 램리서치와 반도체 공정 에지 링 특허분쟁 중인 비씨엔씨가 램리서치 기술 특허성에 대해 상반된 주장을 펼쳤다. 쟁점 특허는 램리서치의 특허 '하단 링 및 중간 에지 링'(등록번호 2182298, 아래 '298 특허) 1건이다. 앞서 2025년 10월 특허심판원은 '298 특허가 무효라고 판단(심결)했고, 램리서치는 이에 불복해 2025년…

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