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[지디넷코리아]램리서치와 PSK의 베벨 에처 특허침해소송에서 쟁점 특허가 1건으로 압축됐다. 램리서치는 정정에 실패한 특허 1건에 대한 침해 주장을 철회했다.베벨 에처는 웨이퍼 가장자리(베벨)에 형성된 불필요한 박막을 제거하는 장비다. PSK가 지난 2021년 베벨 에처를 개발해 SK하이닉스에 공급했다고 밝히자, 램리서치는 PSK를 상대로 특허침해소송을 제기했다. PSK는 대응 차원에서 특허무효분쟁을 시작했다.…
출처: zdnet.co.kr · https://zdnet.co.kr/view/?no=20260813131556