에코프로에이치엔, 삼성E&A에 반도체 공정 RCS 공급…330억 규모

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[지디넷코리아]에코프로에이치엔이 삼성E&A에 중앙식 온실가스 저감 시스템(RCS)을 공급한다. 이번 계약은 330억원 규모로, 공급된 설비는 국내 반도체사에 도입될 예정이다.에코프로에이치엔은 삼성E&A와 RCS 공급 계약을 체결했다고 27일 공시했다.RCS는 반도체 공정에서 발생하는 과불화화합물(PFCs)을 처리하는 대용량 온실가스 저감 시스템이다. PFCs는 CO2 대비 수천~수만 배 이상 높은 지구온난화지수(GWP)를 지니고 있어, 반도체 제조…

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