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[지디넷코리아]일본 코쿠사이와 반도체 공정용 원자층증착(ALD) 장비 특허분쟁 중인 유진테크가 이번에도 웃었다. 특허법원이 특허심판원 판단을 뒤집고 코쿠사이 특허 1건을 무효라고 판결했다. 특허법원은 15일 코쿠사이의 특허 '반도체 장치의 제조 방법, 기판 처리장치 및 프로그램'(등록번호 2472052, 아래 '052 특허)에 관련 심결취소소송 2건과 관련해, 앞서 특허가 유효하다고 판단했던 특허심판원…
출처: zdnet.co.kr · https://zdnet.co.kr/view/?no=20260715144232
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