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[지디넷코리아]잘 휘어지는 반도체 기판에 회로를 연속으로 정확하게 새길수 있는 디지털 마스크리스 노광(리소그래피) 시스템이 개발됐다. 노광은 반도체 핵심 기술이다.개발은 장원석 한국기계연구원 장원석 나노융합연구본부장 연구팀이 진행했다.29일 한국기계연구원에 따르면 이들이 개발한 기술은 크게 3개다. 실시간 패턴 보정이 가능한 디지털 리소그래피 스캐너와 이 스캐너를 롤투롤 이송시스템과 결합, 유연전자소자 연속…
출처: zdnet.co.kr · https://zdnet.co.kr/view/?no=20260629093351
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