표준연, 국산 반도체 공정용 가스 15종 ‘품질평가 체계’ 구축

← 피드로

[지디넷코리아]한국표준과학연구원(KRISS)이 6일 반도체 주요 공정에 쓰이는 고순도 가스 15종의 순도분석기술과 시험절차를 확립하고, 측정 정확성을 확인하는 인증표준물질 6종을 개발했다고 발표했다.오상협 가스측정그룹 책임연구원은 "공급업체 성적서에만 의존하던 방식에서 벗어나, 반도체 가스의 품질을 국내에서 객관적으로 평가할 수 있는 기반이 마련됐다"고 말했다.그동안은 반도체 제조 소재의 고난도 공정 등으로 신규 소재…

원문 보기 ↗