비씨엔씨, 램리서치 디자인 2건 무효화 실패

← 피드로

[지디넷코리아]램리서치와 반도체 공정용 에지 링 특허·디자인 등 산업재산권 분쟁 중인 비씨엔씨가 램리서치 디자인 2건 무효화에 실패했다. 비씨엔씨는 램리서치 특허 3건을 상대로 청구한 무효심판 3건 중 2건은 무효, 1건은 유효라는 판단을 받은 상태다. 링은 반도체 공정 식각장비 내부에 장착하는 실리콘 부품이다. 식각장비 내부에서 생성된 플라스마가 웨이퍼…

원문 보기 ↗